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怎樣防止無塵室中的微粒子污染?

發布時間:2023-08-23 21:45:17 人氣:6544


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無塵室內的浮游微粒子濃度,利用高機能的過濾器即可輕易達到零水平,實際的生產現場因為作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的整機資料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無塵室內該如何避免微粒子沾染呢?應依照下列四項基本準則:

  一、不攜入在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業員進入無塵室前,機臺、整機攜入前應進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要衣著不發塵、不產生靜電的具特別導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后,才干進入無塵室。
4)機器及資料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀況下帶進無塵室前室頤養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
5)無塵室中須全程衣著密閉式保險帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  二、不產生
在把持最大沾染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時,也應把持第二大沾染源—制造機臺的發塵量。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。因物品在挪動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在挪動時也會有微粒子的產生。故為了把持發塵量達到最小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發塵的動作狀況;
2)采取磨耗發塵小的材質;
3)采取發塵小的潤滑油;
4)機臺利用空壓浮上的非接觸化工作原理。凈化配件送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。

  三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧,無塵室內的清潔度就可能堅持。但事實中人跟物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在寬大的無塵室內要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過濾器中利用以除去已產生的微粒子變得十分重要。通常已產生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發性的振動及不牢固的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子沾染的危險性。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動。這是在約10秒內將室內空氣跟完全過濾空氣完全交換所盤算出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無阻,因為在流暢途徑中有妨礙物的話,輕易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得鄰近已產生的微粒子無奈疾速消除而長時光漂流在無塵室內,而一局部會附著在周邊機器設備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積,但對帶電名義的微粒累積就無奈避免。
無塵室內的浮游微粒子濃度,利用高機能的過濾器即可輕易達到零水平,實際的生產現場因為作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的整機資料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無塵室內該如何避免微粒子沾染呢?應依照下列四項基本準則:

  一、不攜入
在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
1)作業員進入無塵室前,機臺、整機攜入前應進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要衣著不發塵、不產生靜電的具特別導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后,才干進入無塵室。
4)機器及資料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀況下帶進無塵室前室頤養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
5)無塵室中須全程衣著密閉式保險帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

  二、不產生
在把持最大沾染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時,也應把持第二大沾染源—制造機臺的發塵量。因物品在挪動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在挪動時也會有微粒子的產生。故為了把持發塵量達到最小限度應采取以下對策:
1)減少接觸剝離發塵的動作狀況;
2)采取磨耗發塵小的材質;
3)采取發塵小的潤滑油;
4)機臺利用空壓浮上的非接觸化工作原理。

  三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧,無塵室內的清潔度就可能堅持。但事實中人跟物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在寬大的無塵室內要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過濾器中利用以除去已產生的微粒子變得十分重要。通常已產生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發性的振動及不牢固的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子沾染的危險性。
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